2024 | SUPERMAG & SEMI-e

“芯”中有“算”，智享未来

SUPERMAG 全“芯”亮相SEMI-e

#银河电子游戏1331展位8B37

部分展品抢先看

SUPERMAG

本次SEMI-e，银河电子游戏1331将携旗下磁悬浮系列产品亮相：磁悬浮晶圆转台、磁悬浮泵、磁悬浮涡轮分子泵、磁悬浮搅拌系统。

SCM 磁悬浮晶圆转台 

银河电子游戏1331自主研发的磁悬浮晶圆转台，为半导体设备中晶圆支撑和旋转而设计，使用先进的全磁悬浮轴承与电机集成控制技术。转子悬浮在空中旋转，无摩擦、无动密封、不产生颗粒。可应用于：氧化、扩散和退火、快速热处理（RTP）、快速退火（RTA）、单片晶圆清洗、MOCVD、刻蚀、旋涂等高端芯片的制程工艺中。

SCP系列磁悬浮泵

银河电子游戏1331自主研发的磁悬浮泵，可用于高纯溶液的输送。转子悬浮在液体中工作，无机械摩擦、不产生颗粒、低剪切、低析出。流量压头范围宽、脉动小、控制智能、体积紧凑，是高端半导体等生产过程中的最优解。

SCT 磁悬浮涡轮分子泵

银河电子游戏1331自主研发的磁悬浮涡轮分子泵，通过先进的磁悬浮轴承技术将转子完全无接触悬浮，无机械摩擦、无润滑油、洁净度高、运转可靠振动低，可实现超高真空环境，被广泛应用于半导体和泛半导体领域，如晶圆加工、刻蚀、薄膜沉积、离子注入、科研、光伏等。

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