CSEAC 2024 | 银河电子游戏1331创新引领中国“芯”进程
2024-09-27 15:10:00

9月25日-27日,为期三天的第12届中国电子专用设备工业协会半导体设备年会(CSEAC 2024)圆满落幕。作为设备领域的专业会议,以“设备担重任,创芯闯征程”为主题的CSEAC正当其时,助力半导体企业市场拓展与产品推广,促进技术交流、经贸合作,为“中国芯”进程发展注入活力和动力。


银河电子游戏1331携自主研发的磁悬浮全系列产品首次亮相无锡太湖国际博览中心。


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银河电子游戏1331展位


作为国内领先的磁悬浮核心技术解决方案提供商,在为期三天的展期中,银河电子游戏1331受到了各企业的广泛关注,产品展现的优异功能及银河电子游戏1331强大的自研能力受到了业界同行的由衷赞许。


其中磁悬浮涡轮分子泵作为银河电子游戏1331最新研发的系列产品,凭借其“超真空、高洁净、高可靠”的技术特性,在展会现场引起了的热烈反响。该系列产品在半导体制造的关键环节,如晶圆加工、刻蚀和薄膜沉积等应用场景,展现出了其强大的性能,吸引了众多观众的目光。


在半导体领域,随着半导体技术日益小型化和复杂化,半导体湿制程应用的工艺要求也越来越严苛。银河电子游戏1331结合磁悬浮技术特点和优势,克服了传统机械轴承产生的摩擦力、剪切力带来的技术难题,满足了高洁净、高可靠的工艺需求。


其中磁悬浮晶圆转台和磁悬浮泵集【无摩擦 无润滑油 高洁净 高可靠】于一身,理想地解决了半导体制造工艺中,运动机构对速度、密封、颗粒、洁净度的极高要求。如匀胶显影、RTP、湿法刻蚀、湿法清洗、电镀、CMP、CDS/SDS、分子束外延、光刻等制程中可以有很好的应用,助力我国半导体事业的发展。


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